RC-340高速沉銅工藝
RC-340高速沉銅溶液為非常穩定的沉銅系統,可用同一種溶液生產(chǎn)出結構致密、延展性好的厚沉銅層和薄沉銅層。該系統藥水濃縮程度高、添加量少,工作液比重低、流動(dòng)性好.
一、特點(diǎn)
1、 操作溫度低,溶液穩定性好,沉積速率快;
2、 工作溶液的添加,只用二種補充劑,操作簡(jiǎn)單;
3、 溶液在孔壁上的沉積速率高于銅表面上的沉積速率。
二·配方及操作條件
項目 | 范圍 | 最佳值 |
銅濃度 | 2.5~3.5 g/L | 3.0 g/L |
氫氧化鈉 | 8.0~12.0 g/L | 10.0g/L |
甲醛 | 3.0~4.0 g/L | 3.5g/L |
RC-340Mu | 6.0 %v/v | |
RC-340A | 3.5%v/v | |
RC-340B | 3.5%v/v | |
PH | 12.8~13.0 | 12.9 |
溫度 | ||
預鍍銅 | 55~62℃ | |
甲醛 | 10-20ML/L | |
厚銅 | 45~55℃ | |
薄銅 | 33~37℃ | |
過(guò)濾 | 連續過(guò)濾, 10mm孔徑聚丙烯低吸附性材料 | |
攪拌 | 空氣攪拌 | |
鍍槽 | 聚丙烯、PVDC、高密度聚乙烯 | |
掛具 | 聚丙烯、PVDC、316型不銹鋼 | |
加熱器 | 聚四氟乙烯、石英加熱器 |
三、溶液配制
1、清洗鍍槽,加入計算量的蒸餾水或去離子水,加熱至45℃;
2、攪拌下加入計算量的RC-340 Mu,充分混合;
3、攪拌下加入計算量的RC-340 A,充分混合;
4、攪拌下加入計算量的RC-340 B,充分混合;
5、調節溫度至所需范圍,溶液即可使用。
注:溶液配好后不宜長(cháng)時(shí)間存放,只有在使用之前才進(jìn)行第3、4工序。